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氩离子抛光机应用领域简介

前面新蒲京娱乐场官网8555cc最新网站分别简单介绍了氩离子抛光机的原理和操作流程。氩离子抛光机在石油地质、金属材料加工、半导体、能源电池材料领域都得到了广泛的应用，下面新蒲京娱乐场官网8555cc最新网站来逐一介绍：

1.石油地质领域：

邹才能院士于 2011 年利用场发射扫描电镜首次在中国油气储层中发现纳米孔隙的存在，揭开了国内对于页岩中纳米级微孔隙研究的序幕，而氩离子抛光技术能够进一步揭示页岩内部纳米级孔隙的真实形貌。为研究页岩气的成藏机理，运移规律，以及为将来的勘探开发提供可靠的依据。

页岩氩离子抛光前后表面形貌对比

2.金属材料加工领域：

平面抛光冷轧铜形貌：a)无处理铜75倍SE.b)无处理铜1600BSE.

c)350℃退火铜75倍SE.d) 350℃退火铜650倍BSE

平抛样品在处理之前已经完成机械抛光。经过离子抛光之后表面杂质几乎被完全去除，BSE下可以明显观察到板条状组织（图3b）和再结晶组织（不完全均匀的等轴晶）（图3d）。

3.半导体领域：

氩离子抛光可用于芯片、LED等失效分析，以及纳米量子电子器件、亚波长光学结构，表面等离激元器件等应用的微纳加工。

4.能源电池材料领域：

使用CP切割＋扫描电镜来研究电极粉末材料、电池循环后的极片、隔膜材料、电池（薄膜电池或固态电池）截面的微观结构和元素组成等，对于了解电池及其材料的内部结构、反应机理、失效机制等具有重大意义。

以上列举的是氩离子抛光比较常用的几个应用方向，但氩离子抛光仍有很多未知的应用领域等待着新蒲京娱乐场官网8555cc最新网站去探索，相信届时会为科研与社会生产生活带来更大的突破与便利。

新蒲京娱乐场官网8555cc最新网站研发的ArNanoFab 100氩离子抛光机，经过长期的测试表明，已经可以全自动连续处理样品，并且制样结果完全能满足高分辨下的后续观察与实验，具备成熟的抛光制样能力，已经达到国外尖端氩离子抛光技术水平，并且相较于国外设备，ArNanoFab 100价格更具优势，今后在实验室部署也将获得更大的发展，这有助于推动氩离子抛光应用得到更广泛的普及。

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